日赛默飞集成电路材料应用实验室正式落成开幕。随着国内集成电路行业的高速发展,集成电路材料作为产业链中细分领域最重要的一环,对集成电路制造业安全可靠发展以及持续技术创新起到至关重要的支撑作用。为确保芯片良率和性能,与集成电路制程工艺紧密相关的超纯水、环境空气、晶圆基材、晶圆制程和表面清洗化学品、溅射靶材、电子气体和封装基板电镀液等材料中的杂质控制要求日趋严格。同时技术壁垒也使得集成电路制造设备和材料国产替代势在必行,性能提升需要先进制程支撑,激发了材料技术的底层创新和研发的大规模投入。赛默飞世尔科技可为集成电路材料应用提供全面有效的方案支持,除具备多种分析晶圆物性结构的高端电子显微镜、检测仪、分析材料成份表征和质量控制的色谱质谱等赛默飞全产线最先进的分析仪器设备外,还可提供稳定可靠的检测方法,与国际先进集成电路制程水平相配套,助力材料研发创新,服务于国内集成电路产业发展。
2024年1月30日上午在赛默飞广州G77工厂隆重举行,中新广州知识城开发建设办公室副主任黄伟坚、广东汇标检测认证集团有限公司董事长王智民、赛默飞中国分析仪器事业部商务副总裁周晓斌、赛默飞中国色谱与质谱业务商务副总裁何燕、赛默飞中国制造运营副总裁程强、赛默飞离子色谱及样品前处理业务副总裁/总经理LidiyaRaicevic女士等出席本次活动。
中新广州知识城开发建设办公室副主任黄伟坚回顾了过去十年赛默飞与广州开发区携手成长的发展历程,表达了政府对集成电路相关行业发展的关注,鼓励更多的企业、机构抓住集成电路行业发展的机遇,并支持赛默飞为集成电路标准制定和研发机构、集成电路材料生产厂家、分析仪器厂家以及第三方检测机构搭建科学平台。
“赛默飞集成电路材料应用实验室”共同揭牌。同时,赛默飞领导和与会嘉宾一起剪彩,为新实验室开启新征程。
30多位领导和专家,以及赛默飞资深专家们参加研讨会。此次研讨会就集成电路材料检测领域的发展现状、技术应用、分析热点和难点、行业标准等方面进行了热烈充分的交流与探讨。
13年,参与起草国家标准12项,在湿电子化学品、超纯水、AMC、硅片、金属靶材、电子特气和光刻胶等集成电路相关材料中痕量和超痕量杂质检测方面有丰富的经验,所属实验室在多种湿电子化学品、超纯水中痕量无机金属离子、无机非金属阴离子和阳离子等检测项目已通过CNAS和CMA认证。着重介绍了集成电路产业中关键材料湿电子化学品和电子特气的检测要求,对标semi标准详细探讨了国内相关产业的现状及标准提高的可行性,分享了上海计量测试研究院集成电路产业中心与赛默飞世尔科技合作开发的多项湿电子化学品、电子特气、光刻胶等材料中痕量无机阴离子和金属离子检测方法。针对超痕量分析,还现场详细解读了实验室环境和人为因素对检测结果的影响,与会专家客户反响强烈,纷纷参与讨论。
赛默飞集成电路材料应用实验室,凭借其离子色谱、电感耦合等离子体光谱和质谱、辉光放电质谱、液相色谱和电雾式检测器、高分辨质谱、气相色谱和质谱技术实力,不断开发各类集成电路材料中痕量无机阴离子、阳离子和金属离子、痕量气体和有机杂质的检测方案,为集成电路制造产业链提供多种解决方案,在超纯水、环境空气、晶圆基材、晶圆制程和表面清洗化学品、溅射靶材、电子气体和封装材料等方面提供全面可靠的分析技术,全方位满足集成电路生产对相关材料的质控要求,支持和服务于客户建立起完整质量控制体系,使国内集成电路产业向高端迈进。