光罩技术的GM超高精度影像式测量仪系列,为七海之光罩技术制造而成,此技术已获美国、中国及等地区的发明和创新....
光罩技术的GM超高精度影像式测量仪系列,为七海之光罩技术制造而成,此技术已获美国、中国及等地区的发明和创新。此类机种的精度几乎不受机械误差及阿贝误差影响,尤其是X、Y轴行程在600mm × 500mm以上的机型,无论是XY轴向精度,还是XY平面坐标精度皆能在5内,其精准度比所有百万价值内的德国、日本或国外进口的机器更精准。